MEMS環境振動発電応用に向けた自己組織化エレクトレットのマイクロパターン化技術と表面電位評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P3-C-4

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Micro-patterning Technology of Self-assembled Electrets and its Evaluation of Surface Potential for MEMS Vibrational Energy Harvesters

著者名: 李 睿宸(立命館大学), 杉本 澪貴(立命館大学), 田中 有弥(群馬大学), 山根 大輔(立命館大学)

キーワード: MEMS|振動エナジーハーベスタ|自己組織化エレクトレット|エレクトレット|表面電位|MEMS|vibration energy harvester|self-assembled electret|electret|surface potential

要約(日本語): 当研究グループでは近年、荷電処理が一切不要な自己組織化エレクトレット(SAE)を用いたMEMS振動発電素子を実現した。本研究では,MEMS振動発電素子内に形成されるSAE 膜と同じ形状のマイクロパターンSAE 膜を表面電位評価用の基板上に作製する技術を開発した。さらに,作製したマイクロパターン SAE の表面電位の実測評価に初めて成功した。

要約(英語): This paper reports the development of a technique for micro-patterning self-assembled electrets (SAE), which are electrets that do not require any charging process, for micro-electro-mechanical systems vibrational energy harvesters, and the first evaluation results of the surface potential of micro-patterned SAEs.

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