RES 構造と斜立したLIG カンチレバーを利用した三軸触覚センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P3-M-4

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Triaxial tactile sensor using RES structure and standing LIG cantilevers

著者名: 中島 利八郎(慶應義塾大学), 中村 凪(早稲田大学), 佐野 友彦(慶應義塾大学), 岩瀬 英治(早稲田大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学)

キーワード: 三軸触覚センサ|Rotational erection system|レーザ誘起グラフェン|斜立したLIGカンチレバー|レーザ加工|Triaxial tactile sensor|Rotational erection system|Laser-induced graphene|Standing LIG cantilever|Laser processing

要約(日本語): 本研究では、RES構造と斜立したLIGカンチレバーを用いた三軸触覚センサを提案する。ポリイミドフィルムに対して二種類のレーザを照射することでピエゾ抵抗層となる多孔質グラフェンを持ったセンサ素子を形成し、それを切り紙・折り紙構造によって自立させることで立体的なセンサ素子を製作する。提案したセンサ素子を用いて試作した三軸触覚センサは垂直力と二軸のせん断力に対して独立した応答を示した。

要約(英語): This paper reports a triaxial tactile sensor using standing cantilevers with a piezoresistive graphene layer and a unique kirigami/origami structure. The proposed sensing element can be easily fabricated by two types of laser processing and become self-standing by its structure. Here, we evaluated the fabricated sensor response to triaxial force.

PDFファイルサイズ: 3,161 Kバイト