固有値解析によるMEMS構造での非線形周波数応答予測
固有値解析によるMEMS構造での非線形周波数応答予測
カテゴリ: 部門大会
論文No: 6P4-C-2
グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2023/10/31
タイトル(英語): Prediction of nonlinear frequency response by eigenvalue analysis
著者名: 赤松 儀優(兵庫県立大学), 神田 健介(兵庫県立大学), 前中 一介(兵庫県立大学)
キーワード: 非線形周波数応答|有限要素解析|数値計算|MEMS両持ちはり|初期たわみ|Prediction for nonlinear frequency response|Finite element analysis|Numerical calculation|Both-end fixed MEMS beams|Initial deformation)
要約(日本語): 本研究では,初期変形を伴うMEMS構造の非線形周波数応答の簡易予測法を提案する。非線形運動方程式の復元力項にはMEMS構造の共振角周波数の関数を用いた。提案手法は、両端固定梁の非線形周波数応答をよく予測した。
要約(英語): A simple prediction method for nonlinear frequency response of MEMS structures with initial deformation is proposed in this study. A function of resonant angular frequency of MEMS structure is used for the restoring force term in nonlinear motion of equation. The proposed method well predicted the nonlinear frequency response of a both-end fixed beam.
PDFファイルサイズ: 718 Kバイト
受取状況を読み込めませんでした
