サブミクロンピッチ回折格子を持つプラズモニック光検出器による連続的な波長光源を用いた分光

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-11

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Spectroscopy of broadband wavelength light using plasmonic photodetectors with submicron grating

著者名: 金田 裕喜(電気通信大学), 齊藤 伊吹(電気通信大学), 山岡 詩菜(電気通信大学), 斎藤 史郎(イムラ・ジャパン), 大下 雅昭(電気通信大学), 菅 哲朗(電気通信大学)

キーワード: 分光計測|プラズモニクス|ショットキー光検出器|MEMS|近赤外光|Spectroscopy|Plasmonics|Schottky photodetector|MEMS|Near infrared

要約(日本語): 近赤外分光器の小型化を目的とした,プラズモニック光検出器による連続スペクトル計測について報告する.この光検出器はn型シリコンの回折格子の上に金を蒸着した構造をしており,入射角ごとに検出波長が変わる特性をもつ.光検出器による連続スペクトル計測が可能か検証するために,50 nmの波長幅をもつ光を照射し、スペクトル計測を行った.素子から得られたスペクトルは市販分光器と同一の波長範囲でピークを示した.

要約(英語): We report on a continuous spectrum measurement using a plasmonic photodetector for the miniaturization of a near-infrared spectrometer. The photodetector has a structure in which gold is deposited on an n-type silicon diffraction grating and its detection wavelength changes at each angle of incidence. To verify the feasibility of continuous spectrum measurement using the photodetector, spectra were measured by irradiating light with a wavelength width of 50 nm.

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