エラストマシート封止MEMS触覚センサの曲げ・ねじり応答の封止深度依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-14

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Dependence of response to bending and torsional deformations on sealing depth of MEMS tactile sensor in elastomer sheet

著者名: 若林 陽彩(新潟大学), 南部 泰生(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 野間 春生(立命館大学), 寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: 触覚センサ|MEMS|マイクロカンチレバー|封止深度依存性|エラストマ|tactile sensor|MEMS|microcantilever|dependence on sealing depth|elastomer

要約(日本語): 本研究では、センサチップの封止深さによる曲げ・ねじり変形の検出を可能にしたMEMS触覚センサのセンサ感度の測定を行い、封止方法の変更による感度の封止深度依存性を評価した。その結果、センサの寸法を制御した封止方法により、精度の高い作製方法を確立することに成功した。そこで、封止深さの異なるセンサを3種類作製し曲げ・ねじり変形を印加した実験を行ったところ、感度の封止深さ依存性を明らかにした。

要約(英語): In this study, we evaluated the sensor sensitivity of a bending and torsion sensing MEMS tactile sensor by the depth of encapsulation of the sensor chip. As a result, we succeeded in establishing a fabrication method with dimensional control during encapsulation. Therefore, we fabricated sensors with different encapsulation depths and experimentally clarified the dependence of the sensitivity on the encapsulation depth.

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