小型デバイス応用を鑑みた PLD 法による Sm-Fe 系磁石膜の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-17

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): PLD-made Sm-Fe film magnets applied to miniaturized devices

著者名: 曽我部 泰地(長崎大学), 山下 昂洋(長崎大学), 柳井 武志(長崎大学), 中野 正基(長崎大学), 福永 博俊(長崎大学)

キーワード: PLD法|パルス熱処理|厚膜磁石|1-12系磁石|積層構造|PLD (Pulsed Laser Deposition) method|Pulsed annealing|thick-film magnets|1-12 based magnets|laminated structure

要約(日本語): 本研究では,等方性Sm-(Fe,Co)厚膜磁石をPLD(Pulsed Laser Deposition)法により成膜し,更に熱処理を施すことにより1-12結晶相の形成を検討した。その際,Sm-(Fe,Co)合金の一部をTiシートで被覆したものをターゲットとして用いた。熱処理時間を最適化することにより、保磁力の平均値が200kA/mとなる試料を実現した。

要約(英語): In this study, isotropic Sm-(Fe, Co) thick-film magnets were fabricated by the PLD (Pulsed Laser Deposition) method followed by an annealing process to form 1-12 crystalline phase. A Sm-(Fe, Co) alloy partially covered with a Ti sheet was used as a target. Sm-(Fe, Co) thick-film magnets with average coercivity value of 200 kA/m were could be obtained by optimizing annealing time.

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