音響放射力を用いたMEMS光スキャナの特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-20

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Evaluation of micromachined optical scanner using acoustic radiation force

著者名: 佐々木 敬(Silicon Austria Labs), 高橋 優哉(東北大学), 羽根 一博(東北大学)

キーワード: 光スキャナ|音響放射力|MEMS|準静的駆動|レーザー|Optical scanner|Acoustic radiation force|MEMS|Quasistatic|Laser

要約(日本語): 本発表では音響放射力を用いたMEMS光スキャナの特性を報告する。デバイスはミラーと超音波振動子により構成される。超音波振動子より生成される音波によりミラーに発生する音響放射力でミラーを駆動する。ミラーから2mm以上離れた音源を用いてミラーを準静的に駆動することに成功した。製作した2mm角のミラーで60度以上の光走査角を達成した。

要約(英語): The characteristics of micromachined optical scanner using acoustic radiation force is reported. The device consists of a mirror and an acoustic transducer. The acoustic field surroundings of the mirror generate the acoustic radiation force. The mirror was successfully actuated quasistatically by using ultrasound source placed 2 mm far from the mirror. The fabricated 2 mm square mirror showed an optical scan angle of more than 60 degrees.

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