ジルコニア構造体Cr-N薄膜圧力センサによる水素ガス中圧力測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-32

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Pressure measurement in hydrogen gas using zirconia structure body Cr-N thin film pressure sensor

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所), 皆川 直祐(日本ファインセラミックス), 水尾 仙人(日本ファインセラミックス), 亀川 厚則(室蘭工業大学)

キーワード: 水素|ジルコニア|Cr-N薄膜|圧力センサ|水素吸蔵合金|Hydrogen|zirconia|Cr-N thin film|pressure sensor|hydrogen storage alloy

要約(日本語): 水素の影響を受けないCr-Nひずみセンサ薄膜とジルコニア構造体からなる高感度で小型の水素用圧力センサの開発を進めている。本研究では,主に1MPa以下の低圧域で高感度な従来に無い形式の圧力センサ素子を作製し,水素吸蔵合金が入った圧力容器内において水素吸収放出時の圧力測定を行った。その結果,水素中で問題なく動作し,水素ガスの圧力変化測定ならびに水素吸蔵量の見積りが可能であることを明らかにした。

要約(英語): A highly sensitive and compact hydrogen pressure sensor consisting of a Cr-N strain sensor thin film and a zirconia structure, which is not affected by hydrogen, was used to measure the pressure inside a pressure vessel containing a hydrogen storage alloy. It was clarified that it is possible to measure the pressure change of hydrogen gas and estimate the hydrogen storage capacity.

PDFファイルサイズ: 1,270 Kバイト