エレクトレットセンサにおける絶縁層のパターニングがエレクレットの電荷保持特性に及ぼす影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-33

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Effect of Insulation Layer Patterning in Electret Sensors on Charge Retention Characteristics of Electrets

著者名: 尾花 拓朗(埼玉大学), 蔭山 健介(埼玉大学)

キーワード: エレクトレット|レーザーパターニング|PTFE|シリカ凝集体|容量型センサ|Electret|Laser patterning|PTFE|silica agglomerates|capacitive sensor

要約(日本語): 本研究では、エレクトレットを2枚の電極で挟み込み電気機械変換素子としたエレクトレットセンサ(ECS)において、レーザーパターニングした絶縁電極を用いて電荷保持特性を調べた。絶縁電極のうね部の高さ、溝部の幅やうね部と溝部の割合などのパラメータを変更しECSに及ぼす影響を調べた。また、得られた結果からECS内部で起きている現象を考察し、最適な絶縁電極の構造を検討した。

要約(英語): In this study, the charge retention characteristics of an electret sensor (ECS), in which an electret is sandwiched between two electrodes to form an electromechanical conversion element, were investigated using laser-patterned insulating electrodes. Parameters such as the height of the insulating electrode ridges, the width of the grooves and the ratio of ridges to grooves were changed to investigate their effect on the ECS.

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