TiNマイクロヒータを用いた熱式MEMSフローセンサ作製プロセスの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-36

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Study of fabrication process of thermal MEMS flow sensor using TiN micro-heater

著者名: 浦野 元里(東京工業高等専門学校), 伊藤 浩(東京工業高等専門学校), 新國 広幸(東京工業高等専門学校)

キーワード: TiNマイクロヒータ|フローセンサ|ドライエッチング|温度センサ|反応性スパッタリング|TiN microheater|flow sensor|dry etching|temperature sensor|reactive sputtering

要約(日本語): 本研究では、TiNマイクロヒータを用いたMEMSフローセンサを提案し、その設計から作製プロセスを検討した。TiNヒータ幅を10μmとした2線式フローセンサを設計した。TiN膜の加工にはArとCF4の混合ガスによるドライエッチングを用い、簡便なプロセスで作製できることを見出した。また、TiN薄膜抵抗の温度特性を測定した結果、温度センサに有効な特性を示し、熱式フローセンサの基本動作を確認できた。

要約(英語): In this study, we proposed MEMS flow sensor using the TiN microheater and investigated its design and fabrication process. As a result, we were able to design the two-wire flow sensor, propose the device process using dry etching and confirm the basic operation of the prototype thermal flow sensor.

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