局所強電界により制御性を向上させたガス透過特性可変素子の製作と特性検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-43

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Fabrication and Characteristic Verification of Variable Gas Permeation Control Device with Improved Controllability by Local Strong Electric Field

著者名: 蓑輪 奈穂(豊橋技術科学大学), 水谷 学世(豊橋技術科学大学,新東工業株式会社), 鈴木 誉久(新東工業株式会社), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

キーワード: においセンサ|ガス透過特性可変素子|ガスセンサ特性制御|強電界|突起形状|smell sensor|variable gas permeation control device|control of gas sensing property|strong electric field|protruding shape

要約(日本語): においセンシングに向けて、ガスセンサの応答特性を変化可能なガス透過特性可変素子を提案してきた。本研究では、突起形状を有することで局所的に強電界を形成可能な素子を提案し、開口面積を統一した突起のない従来形状の素子と比較検証を行った。結果として各印加電圧において、突起形状を有する素子の方が大きな応答量変化を示した。これは、突起形状による局所的な強電界がガス分子に効果的に作用したためだと考えられる。

要約(英語): In this study, we proposed a variable gas permeation control device that can form a strong electric field locally with a projection shape. Compared to a conventional device with a unified aperture area, the device with the projection shape showed a larger change in response at each applied voltage. This is because the strong electric field due to the projection shape effectively acts on the gas molecules.

PDFファイルサイズ: 473 Kバイト