ステンレス基板上に形成したBaTiO3厚膜の圧電縦効果による振動発電特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-6

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Generation energy by vibration using piezoelectric longitudinal effect of BaTiO3 thick film formed on stainless steel substrate

著者名: 川上 祥広(電磁材料研究所)

キーワード: 鉛フリー|圧電縦効果|櫛歯電極|振動発電|ステンレス基板|Lead free|piezoelectric longitudinal effect|interdigitated electrodes|generation energy by vibration|stainless-steel

要約(日本語): 本論文では、エアロゾルデポジション法でステンレス基板上に形成したBaTiO3厚膜表面に櫛歯状の電極を形成し面内方向に分極の向きを揃えた圧電縦効果による振動発電デバイスの試作評価を行った。ステンレス表面にAl2O3層を形成することで圧電膜表面に形成した櫛歯電極を利用して面内方向に分極の向きを揃えることが可能になり圧電縦効果による振動発電特性を示すことが確認された。

要約(英語): we evaluated generation energy by vibration using piezoelectric longitudinal effect of BaTiO3 thick film formed on stainless steel substrate with interdigitated electrodes. It was confirmed that the interdigitated electrodes formed on the surface of BaTiO3 film enables to align the polarization direction to the in-plane direction by forming Al2O3 layer on the surface of the stainless steel and generate energy by vibration due to the piezoelectric longitudinal effect.

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