弾性表面波デバイス基板両面への温度・流量測定のための素子構造の追加作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-62

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Fabrication of additional element structures for temperature and flow measurement on both sides of the SAW device substrate

著者名: 蜷川 渉(九州工業大学), 永野 朝日(九州工業大学), 村上 直(九州工業大学), 伊藤 高廣(九州工業大学)

キーワード: 弾性表面波デバイス|薄膜抵抗素子|水晶|周波数特性|センサ|surface acoustic wave(SAW)device|thin film resister(TFR)|quartz|frequency response|sensor

要約(日本語): 弾性表面波(SAW)デバイスは,圧電デバイスの一種で,圧電性の基板上にくし歯型の電極を作製した素子構造を有する.SAW素子をガスセンサへ適用する際,試料ガスの温度と流量をそのセンサ基板上で同時測定できると,ガス検知時の条件安定化や制御に有益と考えられる.本研究では,温度・流量測定への利用を目的に,金属薄膜の抵抗素子を同一基板上に配置・作製し,その周波数,挿入損失の測定および評価を行った.

要約(英語): A surface acoustic wave (SAW) device is a type of piezoelectric device that consists of comb-shaped electrodes on a piezoelectric substrate. In this study, we measured and evaluated the frequency and insertion loss of a metal thin-film resistive element on the same substrate for use in temperature and flow rate measurement.

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