Al2O3エレクトレット膜被覆Siナノワイヤのピエゾ抵抗効果

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-7

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Piezoresistive effect of Si nanowires with Al2O3 electret film coating

著者名: 長野 貴哉(神戸大学), 仲上 達也(神戸大学), 上杉 晃生(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

キーワード: シリコンナノワイヤ|Al2O3|エレクトレット膜|ピエゾ抵抗効果|VLS法|Silicon nanowire|Al2O3|Electret film|Piezoresistive effect|Vaper-liquid-solid method

要約(日本語): シリコンナノ細線(SiNWs)と,ALDアルミナ膜およびエレクトレットアルミナ膜で被覆したコアシェル構造に対し,引張ひずみ下での電気伝導性の変化を評価した。コアシェル構造化により界面には負の電界が生じ,引張ひずみを与えない場合の抵抗率はSiNWsの37.8 Ω・cmに対して95.6 %,98.2 %低下した。また引張ひずみ下での抵抗変化率は,エレクトレット膜で負の固定電荷密度を大きくした場合により大きな正の変化を示すことを明らかにした。

要約(英語): Resistivity changes with tensile strain of core-shell silicon nanowires coated with ALD Al2O3 film and electret Al2O3 film coating was evaluated. Owing to negative electric potential caused by the shell films, electrical conductivity without tensile strain and relative change in resistivity with tensile strain was increased.

PDFファイルサイズ: 924 Kバイト