引張変形のTEM内観察用シリコンデバイスの設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P5-PS-8

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Design of silicon device for observation of tensile deformation in TEM

著者名: 鈴木 聡汰(立命館大学), 野田 和俊(立命館大学), 安藤 妙子(立命館大学)

キーワード: 窒化ガリウム|TEM内引張試験|合成梁曲げ試験|ヤング率|マイクロスケール|Gallium nitride|Tensile test in TEM|Bending teat with composite beam|Young’s modulus|Micro scale

要約(日本語): 本実験では窒化ガリウムの引張特性を測定するためにTEM内観察が可能な引張デバイスを作製した。また、引張特性のヤング率測定を目的に曲げ試験を行った。結果として引張デバイスを有限要素解析で設計し、曲げ試験では窒化ガリウムのヤング率が182GPaと算出された。

要約(英語): In order to measure the tensile properties of gallium nitride, we fabricated a tensile device that can be observed in a TEM. A bending test was conducted for measuring the Young's modulus of tensile properties. Consequently, a tensile device was designed by finite element analysis, and the Young's modulus of gallium nitride was calculated to be 182GPa in bending tests.

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