バイモーダル「センサチップレット」プラットフォームによるアルブミン・pHマルチ計測

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A2-C-1

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Measurement of Albumin and pH by bimodal chiplets

著者名: 島村 龍伍(東京大学), 安永 竣(東京大学), 三角 啓(東京大学), (東京大学), 肥後 昭男(東京大学), (), 水島 彩子(東京大学), (), 小森 喜久夫(近畿大学), 酒井 康行(東京大学), 年吉 洋(東京大学), ティクシエ三田 アニエス(東京大学), 三田 吉郎(東京大学)

キーワード: 化学センサ|マルチモーダル計測|チップレット|MEMS|バイオセンサ|Chemical Sensor|Multimodality|Chiplet|MEMS|Biosensor

要約(日本語): 生物化学計測の分野で選択性向上のために用いられるマルチモーダル計測において、用途に応じて迅速に制約なく測定項目を変更できるデバイスが必要とされていた。近年LSIで注目を浴びるチップレット技術を化学センサに導入することで、簡便なポストプロセスによって所望のバイモーダル計測を実現する「センサチップレット」を提案する。概念実証としてpHとアルブミンの計測を実施し、プロセスによる感度の劣化がないことが確認された。

要約(英語): In order to achieve agile and multimodal chemical sensing, chiplet technology is introduced to chemical sensors. "Sensor chiplet" enables quick configuration of multimodal sensors with easy post processing. As a proof of concept, pH and albumin sensing is demonstrated.

PDFファイルサイズ: 1,712 Kバイト