PZT/ポリマーSiアクチュエータによるポリマー材料の機械的品質係数(Qm)の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A2-C-4

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Evaluating the Mechanical Quality Factor (Qm) of Polymer Materials by Using PZT/polymer Integrated Piezoelectric Actuator

著者名: 王 旭晨(東北大学), 鈴木 裕輝夫(東北大学), 李 仲民(AAC Technologies), 田中 秀治(東北大学)

キーワード: 機械的品質係数(Qm )|PZT/ポリマー構造|圧電アクチュエータ|微小電気機械システム|ポリマー材料|Mechanical quality factor (Qm )|PZT/polymer structure|Piezoelectric actuator|MEMS|polymer materials

要約(日本語): この研究では、PZT/ポリマーカンチレバーを用い、ポリマー材料の機械的品質係数(Qm)を測定する方法を紹介する。 これらのカンチレバーは、一般的な MEMS工程 で作れる。 シミュレーションと実験のコリレーションで、2 種類のポリマー (TMMF-NA1000 および SU8) のQmを検証する。 この研究結果は、ポリマー集積構造が優れた減衰特性を備えており、これにより PZT-MEMS スピーカーの性能を向上させることが期待できる。

要約(英語): The study presents a method for measuring the mechanical quality factor of polymer materials, using PZT/polymer integrated cantilevers. Simulation and experiment results validate the proposal for two polymers (TMMF-NA1000 and SU8). The findings suggest that polymer integrated structures have excellent damping characteristics, which could enhance the performance of PZT-MEMS speakers.

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