PZT薄膜アクチュエータとシリコンーパリレン振動板を一体化させた圧電MEMSスピーカの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A2-C-5

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Development of piezoelectric MEMS speaker integrating PZT thin film actuator and Si-Parylene diaphragm

著者名: 上路 輝希(東北大学), 鈴木 裕輝夫(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

キーワード: MEMSスピーカ|圧電アクチュエータ|PZT|パリレン|コルゲート構造|MEMS speaker|piezoelectric actuator|PZT|parylene|corrugated structure

要約(日本語): 本研究ではPZT薄膜アクチュエータとシリコンーパリレン振動板を同一基板上に構成する圧電MEMSスピーカの製作プロセスを開発した。このデバイスはピストン型振動を実現し,閉じられた振動板により空気漏れを防ぐことができる。隙間部分のパリレンにコルゲート構造を設けることでアクチュエータの振動振幅を増大させた。コルゲートを5本設けたカンチレバー構造のアクチュエータでは0.73 ?の静的変位が得られた。

要約(英語): This paper addresses development of fabrication process of a PZT MEMS speaker with Si-Parylene membrane. In this speaker, the PZT actuator and diaphragm are configured on the same substrate. As a result of creating corrugated structure on parylene, a z-direction static displacement of 0.73 ? was obtained.

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