フレキシブル超薄膜水素センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A2-D-2

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Development of Flexible Ultra Thin Film Hydrogen Sensor

著者名: 王 裕基(岡山大学), 若林 翔貴(岡山大学), 王 ?(岡山大学), 紀和 利彦(岡山大学)

キーワード: 水素|ガスセンサ|フレキシブルセンサ|白金|超薄膜|hydrogen gas|gas sensor|flexible sensor|platinum|ultra-thin film

要約(日本語): 私たちは、室温で動作できる白金超薄膜水素センサの開発を行っている。この研究では、ボンベやパイプラインなどさまざまな場所にセンサを取り付けるために、プラチナ超薄膜をガラス基板の代わりにポリエチレン上に蒸着させ、フレキシブル水素センサを開発した。その結果、開発された水素センサは高感度と柔軟性を持って水素ガスを検出できることが示された。

要約(英語): In our group, a platinum ultra-thin film sensors. In this work, to mount the sensor on various places such as gas cylinders and pipelines, the platinum ultra-thin film was deposited on the polyethylene films instead of glass substrates to make the hydrogen sensors flexible. Effect of bending of the developed sensors on the sensitivity was evaluated. The results suggest that the developed hydrogen sensors could be detect hydrogen gas with high-sensitivity and flexibility.

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