VO2切り紙薄膜を用いた大変位・多自由度熱駆動MEMSアクチュエータの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A2-D-3

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Development of large-displacement multi-DoF electrothermal MEMS actuator using VO2 kirigami film

著者名: 橋本 将明(慶應義塾大学), 筒井 友哉(慶應義塾大学), 田口 良広(慶應義塾大学)

キーワード: 熱駆動MEMSアクチュエータ|切り紙|大変位|多自由度|酸化バナジウム|Electrothermal MEMS actuator|Kirigami|Large-displacement|Multi-DoF|Vanadium dioxide

要約(日本語): 内視鏡下で広範囲な3次元光学測定を実現するためには,長ストロークレンズ駆動と広角2軸ミラー駆動を低電力で両立する多自由度MEMSアクチュエータが不可欠である。本研究では,VO2を用いた大変位・多自由度な熱駆動MEMS切り紙アクチュエータを提案する。ヒータ幾何形状の最適設計によって,有限要素解析値で数ミリ長のストロークと数十度の広角2軸チルト駆動を低電力で達成するアクチュエータ設計に成功した。

要約(英語): This paper addresses the design of a large-displacement multi-DoF MEMS actuator using VO2 kirigami film. Using finite element method, it has been demonstrated that the proposed electrothermal MEMS actuator can simultaneously achieve a large stroke of 2.2 mm and a large scanning angle of 27°.

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