磁気トルクを利用した高感度磁気センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A3-B-2

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Highly sensitive magnetic sensor using magnetic torque

著者名: 趙 智健(東北大学), 戸田 雅也(東北大学), 小野 崇人(東北大学)

キーワード: マイクロマシン|磁気センサ|磁場センシング|カンチレバー|パーマロイ|MEMS|magnetic sensor|magnetic field sensing|cantilever|permalloy

要約(日本語): 円柱型軟磁性体を有するカンチレバーを用い、磁気トルクで動作する磁気センサを提案、試作、評価した。外部磁場を変化させることで、デバイスの共振周波数が大きくシフトし、その磁気感度は42 Hz/mTとなった。また、ロックインアンプを使って、位相と振幅を検出することで、作製したデバイスは約32nTの磁気分解能を持つことが確認された。

要約(英語): This paper reports a novel magnetic sensor consisting of a cantilevered resonator with a permalloy pillar and piezoresistive readout. _x000D_ The magnetic sensor is fabricated and evaluated to be a magnetic field sensitivity of 42 Hz/mT and a resolution of 32 nT in lab environment.

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