シリコンピエゾ抵抗型素子を用いた光音響センサの設計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A3-B-6

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Design of photo acoustic sensor using silicon piezoresistive sensor

著者名: 野田 堅太郎(富山県立大学), 塚越 拓哉(富山県立大学), 下山 勲(富山県立大学)

キーワード: 光音響センサ|血糖センサ|シリコンピエゾ抵抗|カンチレバー|MEMS|Photoacoustic wave sensor|Blood glucose sensor|Silicon piezoresistor|Cantilever|MEMS

要約(日本語): 本研究では,血糖の非侵襲・連続計測を実現するため,シリコンピエゾ抵抗素子を用いた圧力センサを用いた光音響波センサの計測原理と設計方法について報告する.提案するセンサの感度はセンサ内に設けた気密室の体積に依存すると考えられ,体積の調整によって,光音響波の検出感度を向上できる.本研究では,提案原理を確認し,気密室の体積とセンサ感度との関係を求めることでセンサ感度を向上するための設計指針の確立を目指す.

要約(英語): This study reports on a design method for a photoacoustic wave sensor using pressure sensor with silicon piezoresistive cantilever. We found that the design of the chamber of sensor become important to increase its sensitivity. In this study we demonstrated the effectiveness of this design method for photoacoustic wave measurement.

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