XYステージ補正機構を備えた2軸MEMSスキャナ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A3-C-3

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Two-Axis MEMS Scanner integrated with an XY-stage

著者名: 岡本 有貴(産業技術総合研究所), 岡田 浩尚(産業技術総合研究所), 一木 正聡(産業技術総合研究所)

キーワード: MEMSスキャナ|ブレ補正機構|静電アクチュエータ|電磁力アクチュエータ|LiDAR|MEMS Scanner|Stabilizing positioner|Comb-drive actuator|Electromagnetic Actuator|LiDAR

要約(日本語): 本稿では、くし歯電極静電駆動アクチュエータに着目し、面内動作XY動作と面外レーザー掃引動作を独立に行えるようにした、XYステージ補正機構集積2軸MEMSスキャナについて報告する。

要約(英語): We developed a two-axis resonant electromagnetic scanner monolithically integrated with an in-plane electrostatic XY stage. The XY stage is composed of two-axis comb-drive electrostatic actuators, and the XY stage can control the scanner's position.

PDFファイルサイズ: 1,192 Kバイト