MEMSイジングマシンの実現に向けた双安定演算素子配列

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7A3-D-2

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Arrayed Bistable Logic Elements for MEMS Ising Machine

著者名: 安永 竣(東京大学), 江澤 雅彦(東京大学), 辻 啓吾(東京大学), 三角 啓(東京大学), 澤村 智紀(東京大学), 坪井 伸二(東京大学), 水島 彩子(東京大学), 落合 幸徳(東京大学), 肥後 昭男(東京大学), 三田 吉郎(東京大学)

キーワード: 双安定|演算素子|イジングマシン|座屈|MEMS|Bistability|Logic element|Ising machine|buckling|MEMS

要約(日本語): 本論文では、MEMSベースのイジングマシン用の双安定論理素子の配列化を初めて実現した。各素子は、座屈梁によって生成される双安定ポテンシャルを持ち、櫛型コンデンサを介して隣接する素子間の静電引力によって座屈方向を変化させる。このような論理素子を配列するための設計および製作方法と、その機械的特性、および素子間の引力による状態遷移の実証について報告する。

要約(英語): The first realization of arrayed bistable logic elements for micro electromechanical systems (MEMS)-based Ising machines is presented. Each logic element has a double-well potential produced by a buckled beam, which changes its deformation by electrostatic attraction force between the neighboring elements via comb capacitors. A design for arraying such logic elements and the first demonstration of state transition by element-to-element attraction are described.

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