同相・逆相分離器を用いたモード局在・周波数変調センシング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-18

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Mode Localization and Frequency Modulation Sensing Using In-Phase and Anti-Phase Separators

著者名: 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

キーワード: モード局在|MEMS振動子|モード分離|モード間干渉|共振駆動|Mode localization|MEMS resonator|Mode separation|Mode interaction|Resonant driving

要約(日本語): 本論文では,高感度モード局在センサの実用化のために,複数の振動モードを同時に駆動する制御方法について報告する.モード分離機構および独立した共振駆動機構をもちいて異なる振動モードを励振させる.また,振動モード間の干渉信号から,モード形状を検出する方法を報告する.この制御方法を用いることで,高感度化によって複数モードの周波数がほぼ重なった状態でも制御およびモード形状の測定が可能となる.

要約(英語): This paper reports a control method to drive multiple vibration modes simultaneously for the high-sensitivity mode-localized sensors. Different vibration modes are excited by using mode separation mechanisms and independent resonance drive mechanisms. A method for detecting the modal shapes from the interference signals between the vibration modes is also reported. This control method enables control and measurement of modal shapes even when the frequencies of multiple modes overlap.

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