斜立したLIGカンチレバーを利用した風速センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-19

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Airflow sensor using standing LIG cantilevers

著者名: 小原 慧(慶應義塾大学), 中島 利八郎(慶應義塾大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学),

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