圧電PVDFのウェットエッチングに関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-20

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Study on the Piezoelectric PVDF Film Wet Etching

著者名: 吉田 理子(和歌山大学), 幹 浩文(和歌山大学)

キーワード: 低侵襲医療|触覚センサ|圧電PVDF|微細加工|ウェットエッチング|Minimally invasive treatment|Tactile sensor|Piezoelectric PVDF|Microfabrication|Wet etching

要約(日本語): 本研究では,圧電PVDFフィルムのウェットエッチングが可能な6種類のエッチング液を対象に実験を行い,微細加工特性に関する知見を提示した。加工プロセス設計では,エッチングマスク材料にSU-8膜を用い,候補のエッチング液に対する耐性とPVDFとのエッチング選択性について調べた。また,圧電PVDF試料の熱履歴の有無による各エッチング液における特性の違いやPVDFの熱履歴が及ぼす影響について確認した。

要約(英語): In this study, experiments were conducted with six etchants capable of wet etching piezoelectric PVDF film, and findings on microfabrication properties were presented. We also confirmed the etchant resistance of the etch mask to each etchant and the differences in the properties of the etchant depending on the thermal budget of the PVDF film.

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