支持基板上 AT カット水晶振動子の励振電極形状の最適化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-3

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Optimization of excitation electrode shape of AT-cut quartz crystal resonator on the support substrate

著者名: 新田 智也(新潟大学), 諸橋 奎人(新潟大学), 安田 倉土(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

キーワード: 水晶振動子|バルク弾性波デバイス|支持基板|水晶振動子マイクロバランス|リモートセンシング|Quartz resonator|bulk acoustic wave device|support substrate|Quartz crystal microbalance|remote sensing

要約(日本語): 本論文では、支持基板上のATカット水晶振動子の励振電極形状の最適化について述べる。本振動子は、励振電極と上部水晶基板の間に支持基板を貼り合わせることで機械的強度を補強しつつ、異なる厚さの支持基板を用いた場合においても、支持基板上の水晶板のみを励振させることに成功した。また、励振電極間隔を広げることで電気機械結合係数が増大し、インピーダンスが低下した。

要約(英語): This resonator successfully excites only the crystal plate on the support substrate, even when support substrates of different thicknesses are used, while reinforcing the mechanical strength by bonding the support substrate between the excitation electrode and the upper crystal substrate. The electromechanical coupling coefficient increased and the impedance decreased by increasing the excitation electrode spacing.

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