深紫外プラズモン共鳴を用いた光学式ガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-37

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Optical Gas Sensor Using Deep Ultraviolet Plasmon Resonance

著者名: 松田 涼(東京農工大学), 関口 真由(東京農工大学), 小川 裕治( 明電舎), 松下 兼一郎( 明電舎), 池沢 聡(早稲田大学), 岩見 健太郎(東京農工大学)

キーワード: プラズモン共鳴|深紫外|ガスセンサ|メタサーフェス|微細加工|Plasmon Resonance|Deep Ultraviolet|Gas Sensor|Metasurface|Microfabrication

要約(日本語): 高電圧機器内部で酸による腐食が問題となっており,酸の前駆物質であるオゾン・アンモニア等のガスの初期検出が必要である.我々はこれまで光学式ガスセンサ素子の設計及び製作を行い,プラズモン共鳴の発生条件を明らかにしたが,透過率スペクトルの取得には至らなかった.本研究では電子線描画装置の加工条件の最適化を行い,製作した素子の性能評価を行うことで,プラズモン共鳴の取得に成功した.

要約(英語): Corrosion by acids inside high-voltage equipment has become a problem, and the initial detection of gases such as ozone and ammonia, which are precursors to acids, is necessary. We have designed an optical gas sensor and clarified the conditions for the generation of plasmon resonance. In this study, we optimized the processing conditions of the electron beam lithography system and evaluated the performance of the fabricated device, and succeeded in obtaining plasmon resonance.

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