フィルタフリー波長センサによる重心波長の計測法の提案と実証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-47

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Proposal and Demonstration of a Method for Measuring the Wavelength of the Center of Gravity Using a Filter-Free Wavelength Sensor

著者名: 松原 稜弥(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 井出 智也(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

キーワード: フィルタフリー波長センサ|重心波長|吸収係数|シリコン|二重拡散構造|Filter-free Wavelength Sensor|Centroid wavelength|Absorption coefficient|Silicon|Double-diffusion structure

要約(日本語): 本論文では、フィルターフリー波長センサを用いた新たな重心波長計測方法を実証する。このセンサはシリコンの光吸収係数が波長ごとに異なることを利用し波長の識別を行う。従来の識別方法では一度波長対電流比率の特性を取得して計測を行っていた。新たに提案する手法は一つの基準波長を用いて深さWの値を求めるだけで、未知の波長を識別できる計測方法である。重心波長計測がより簡単かつ高精度になることが示唆される。

要約(英語): This paper demonstrates a new method of centroid wavelength measurement using a filter-free wavelength sensor. This sensor discriminates wavelengths by utilizing the fact that the optical absorption coefficient of silicon differs for each wavelength. The newly proposed method is a measurement method that can identify unknown wavelengths by simply obtaining the value of depth W using a single reference wavelength.

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