アモルファスタングステンのめっき堆積と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-6

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Electrodeposition and evaluation of of amorphous Tungsten

著者名: 菊地 一輝(東北大学), 小野 崇人(東北大学), 坂本 桂(東北大学)

キーワード: アモルファス金属|金属ガラス|電気メッキ|タングステン|誘起共析|amorphous metal|metallic glass|electroplating|tungsten|co-deposition

要約(日本語): 本論文では、水溶液からのアモルファスタングステンの電着について報告する。コバルトを触媒とする電解液中で、定電流析出条件下で金属組成がほぼ100%Wの薄膜を析出させることができる。X線回折でアモルファス結晶構造を確認し、示差熱分析(DTA)で測定した結晶化温度は約950℃であった。曲げ試験によるヤング率は108GPaであった。

要約(英語): This paper reports the electrodeposition of amorphous tungsten from an aqueous solution. In an electrolyte with cobalt as catalyst, a thin film with almost 100% W in metal composition can be deposited under constant current deposition conditions. The amorphous crystal structure is confirmed by X-ray diffraction, and the crystallization temperature measured by differential thermal analysis (DTA) is around 950°C. Young's modulus measured by bending test is 108 GPa.

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