ハーモニカリード型MEMS発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7P2-PS-8

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Influence of Warpage of Harmonica Read-Type MEMS energy harvester on Self-Excited Vibration

著者名: 吉田 智郎(兵庫県立大学), 志水 駿文(兵庫県立大学), 神田 健介(兵庫県立大学), 前中 一介(兵庫県立大学)

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