可動膜の薄膜限界調査による光干渉型表面応力ガスセンサの高感度化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8A2-B-4

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Increasing Sensitivity of Optical Interference Type Surface Stress Gas Sensor by Investigating Thin Film Limitations of Movable Films

著者名: 十亀 龍星(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

キーワード: ファブリペロー干渉|化学センシング|表面応力センサ|揮発性有機化合物|エタノール|Fabry-Perot interference|Chemical sensing|Surface stress sensor|Volatile organic compounds|Ethanol

要約(日本語): 呼気中のエタノールは、肺がんのバイオマーカーとして注目されており、肺がん患者の呼気には平均で約0.6 ppmのエタノールガスが含まれていることが知られている。サブppmレベルでのエタノールガスの検出が可能になれば、呼気スクリーニングの手法としての利用が期待される。本稿では、サブppmレベルのエタノールガス検出を目指し、ガス感応膜の薄膜化の影響を中心に検討した結果を報告する。

要約(英語): Exhaled ethanol, a lung cancer biomarker, averages 0.6 ppm in patients. Detecting sub-ppm levels could enable breath screening. This paper discusses results from thinning the gas-sensitive membrane for such detection.

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