画素の閾値制御により複数感応膜の同時計測を可能にした においセンシング用CMOS電位センサアレイの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8A2-B-5

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Fabrication of CMOS Potential Sensor Array for Odor Sensing Enabling Simultaneous Measurement of Multiple Sensitive Films by Pixel Threshold Control

著者名: 上條 友暉(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

キーワード: においセンサ|CMOSセンサ|電位センサ|におい感応膜|においセンシング|Gas sensor|CMOS sensor|Potentiometric sensor|Odor sensitive membrane|Odor Sensing

要約(日本語): 本研究では,単一のバイアス電圧では同時計測できない感応膜の組み合わせが存在する課題に対し,画素内センシングトランジスタの閾値を不純物濃度の調整とWell電位の調整により行う動作可能範囲調整画素を提案した.提案した画素での正常な動作と感応膜の計測動作が可能なバイアス電圧範囲の任意シフトの実現を行い,提案手法によりアンモニアを用いたにおいセンシングが可能であることを実証した.

要約(英語): In this study, we proposed an adjustable-operation-range pixel in which the threshold of the sensing transistor in the pixel is adjusted by adjusting the impurity concentration and the Well potential. The proposed pixel enables arbitrary adjustment of the operation range of the sensing film, and ammonia-based odor sensing was demonstrated using the proposed method.

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