6-DOFマイクロアクチュエータの提案と開発
6-DOFマイクロアクチュエータの提案と開発
カテゴリ: 部門大会
論文No: 8P2-PS-12
グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2023/10/31
タイトル(英語): Proposal and Development of 6-DOF Micro Actuators
著者名: 西野 仁(多摩川ホールディングス), 小野 崇人(東北大学)
キーワード: マイクロアクチュエータ|6-DOF|実装|マイクロミラー|バルク圧電素子|micro actuator|6-DOF|assembly|micro mirror|bulk piezoelectric device
要約(日本語): 人工衛星や地上における空間光通信向けの光学制御デバイスとして、ミリオーダーサイズの、6-DOF (Degree of Freedom)マイクロアクチュエータを提案し、設計、作製、評価を行う。設計では、バルク圧電アクチュエータを用いた6軸ミラーの制御と光線追跡を行う。作製では量産性の高い微細加工技術と実装技術を用いる。最後に、作製したデバイスを測定し、測定結果を理論設計値と比較して評価し、今後の方針と展望を示す。
要約(英語): A 6-DOF micro actuator with a millimeter-scaled mirror as an optical control device suitable for space optical communication is proposed, designed, fabricated, and evaluated. The mirror is driven by 8 piezoelectric actuators, and mirror angles can be precisely controlled. Finally, the future direction based on the results is provided.
PDFファイルサイズ: 1,162 Kバイト
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