Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure Generation

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-15

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Non-linear Behavior of pMUT for High Sound Pressure Generation

著者名: 方 偉(東北大学), ベルガラ アンドレア(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

キーワード: 非線形性|フィッティング|触覚|pMUT|超音波|Nonlinearity|Fitting|Haptic perception|pMUT|Ultrasound

要約(日本語): 本研究では、高い音圧に対して大きな変位を持つpMUTデバイスの非線形特性を調査した。非線形フィッティングを用いて2つの構造を定量的に解析した。ピストン状振動を促進するための中央質量を有する構造は、従来構造と比較して非線形係数が小さく、非線形減衰が大きかった。

要約(英語): This study investigates nonlinear characteristics in pMUT devices with large displacement for high sound pressure. Nonlinear fitting was used to quantitatively analyze two structures. The structure with a central mass to promote piston-like vibration had a smaller nonlinear coefficient and larger nonlinear damping compared to the conventional structure.

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