1
/
の
1
オンチップ計測に向けた グラフェンMEMS共振質量センサとPIN PDの集積化デバイスの製作
オンチップ計測に向けた グラフェンMEMS共振質量センサとPIN PDの集積化デバイスの製作
通常価格
¥440 JPY
通常価格
セール価格
¥440 JPY
単価
/
あたり
税込
カテゴリ: 部門大会
論文No: 8P2-PS-16
グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2023/10/31
タイトル(英語): Integration of Graphene-based Resonant Mass Sensor and PIN Photodiode for On-Chip Measurement
著者名: 中川 竜希(豊橋技術科学大学), 新野 謙(豊橋技術科学大学), Le Phuong Anh(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)
キーワード: |||||||||
PDFファイルサイズ: 995 Kバイト
受取状況を読み込めませんでした
