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オンチップ計測に向けた グラフェンMEMS共振質量センサとPIN PDの集積化デバイスの製作

オンチップ計測に向けた グラフェンMEMS共振質量センサとPIN PDの集積化デバイスの製作

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-16

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Integration of Graphene-based Resonant Mass Sensor and PIN Photodiode for On-Chip Measurement

著者名: 中川 竜希(豊橋技術科学大学), 新野 謙(豊橋技術科学大学), Le Phuong Anh(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

キーワード: |||||||||

PDFファイルサイズ: 995 Kバイト

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