フォトリソグラフィ技術で作製可能な薄型リニア静電モータの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-25

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Development of Photolithography Technology Fabricatable Thin Linear Electrostatic Motor

著者名: 田巻 祐哉(日本大学), 木屋 大地(日本大学), LYU SHUXIN(日本大学), 森下 克幸(日本大学), 齊藤 健(日本大学)

キーワード: 微小電気機械システム|静電モータ|リニア駆動|低消費電力|フォトリソグラフィ技術|MEMS|Electrostatic Motor|Linear Drive|Low Power Consumption|Photolithography Technology

要約(日本語): 先に我々は昆虫型マイクロロボット用の静電モータを開発したが,専用設計であるため汎用性が低く,かつ電子線描画装置を使用するなど高度な微細加工技術が必要であった。本論文では,一般的なフォトリソグラフィ技術で製作可能な,最小加工精度が10μmで設計した薄型リニア静電モータを開発した。また,シリコンウェハ外の物体を移動可能な構造で設計し,用途の拡大を目指したので報告する。

要約(英語): Previously, we developed an electrostatic motor for the microrobot. However, the motor was designed explicitly and required advanced microfabrication technology. In this paper, we have developed an electrostatic motor that can be fabricated using general photolithography technology. We also designed a structure that can drive the object outside the silicon wafer.

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