血管内ガイドワイヤのための厚膜SU-8の円筒リソグラフィによる多軸フォースセンサ機構の形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-27

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Fabrication of a multi-axis force sensor structure using cylindrical lithography of thick SU-8 for intravascular guidewire

著者名: 滝口 創太(山形大学), 峯田 貴(山形大学)

キーワード: 円筒リソグラフィ|厚膜レジスト|紫外線レーザー|3軸力センサ|ガイドワイヤ|Cylindrical lithography|Thick resist|UV laser|Triaxial forth sensor|Guidewire

要約(日本語): ガイドワイヤへの応用を目指し,厚膜SU-8 (60 μm)でのひずみ構造(φ720μm,全長3400 μm,ひずみ量0.5 %)と金属膜による3軸力センサの形成とプロセスの確立を行った。60 μm厚程度のSU-8を用いて,UVレーザー描画(λ=375 nm)では,フォーカスのずれで近接効果が拡大しスペース部にSU-8が薄く残る。平板マスク露光(λ=365 nm)ではcos 則通りのパターン幅で円筒面上へ高精度にパターン形成できた。

要約(英語): Strain structures (o 720 μm, length 3400 μm, strain 0.5%) were formed using thick SU-8 (60 μm) for application to guidewires with a triaxial force sensor using a metal film. In UV laser lithography (λ = 375 nm), thin SU-8 remains in the gap part due to a focus shift. Flat mask exposure (λ=365 nm) allowed a cos rule pattern formed on a cylindrical surface.

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