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光学積層膜における偏光干渉を利用した広濃度対応型水素ガスセンサの開発

光学積層膜における偏光干渉を利用した広濃度対応型水素ガスセンサの開発

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-34

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Optical cavity type of sensor elements for a wide range of hydrogen gas detection

著者名: 山根 治起(秋田県産業技術センター), 梁瀬 智(秋田県産業技術センター), 高橋 慎吾(秋田県産業技術センター), 高橋 光希(Tianma Japan), 世古 暢哉(Tianma Japan), 重村 幸治(Tianma Japan)

キーワード: 水素ガスセンサ|光検知方式|光学積層膜|ファブリペロー・キャビティ|偏光干渉|hydrogen gas sensor|optical type of sensor element|optical stacked film|Fabry-Perot cavity|optical polarization interference

要約(日本語): 【水素検知層/光干渉層/ハーフミラー層】積層膜で構成された光学キャビティ型センサ素子にて,200 ppmから100%までの幅広い濃度範囲に渡って,水素ガスの室温での検知動作を確認した。測定光強度の変動に影響されない偏光信号を用いることで,安定した検知動作とともに,計測光の入射角度を変えることで,検知感度(濃度範囲)を調整することが可能である。また,高い水素選択性を有することも確認した。

要約(英語): We have demonstrated a wide range of hydrogen gas detection from 200 ppm to 100% at room temperature by using optical cavity type of sensor elements with polarization interference. This explosion-proof type of sensor element provides a hydrogen monitoring system in flammable environments for gaseous fuels.

PDFファイルサイズ: 633 Kバイト

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