真空蒸着(101)優先配向SnO2薄膜の作製と諸特性の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-35

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Preparation of Vacuum Deposition (101) Preferential Orientation SnO2 Thin Film and Evaluation of Various Properties

著者名: 副島 大翼(熊本大学), 山田 倫太郎(熊本大学), 橋新 剛(熊本大学), 松田 元秀(熊本大学)

キーワード: 酸化スズ(Ⅳ)|配向|ガスセンサ|二次イオン質量分析装置|物理蒸着|Sn(IV) oxide|Orientation|Gas sensor|Secondary Ion-microprobe Mass Spectrometer|Physical vapor deposition

要約(日本語): 本論文は、(101)に優先配向したSnO2薄膜を作製した。特性評価の結果、(101)優先配向SnO2は、(101)回折ピークが低角度側にシフトしていることから、SnO2薄膜の基板として用いたガラスの主成分であるNaとSiが熱処理の影響を受けていて薄膜内に拡散された可能性が示唆された。また、(101)に優先配向させたSnO2とランダム配向のSnO2ではガスセンサの結果から(101)回折ピークがH2やNO2の検出に優れていることがわかった。

要約(英語): In this paper, SnO2 thin films preferentially oriented to (101) were prepared. The characterization results _x000D_ showed that the (101) diffraction peak shifts to the low angle side, suggesting that Na and Si, the main components _x000D_ of glass, may be affected by heat treatment. The (101) diffraction peak is superior to the (101) diffraction peak for _x000D_ the detection of H2 and NO2.

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