絶縁性ナノ粒子薄膜による液体蒸気の検出:構造異性体識別への検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-36

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Detection of chemical liquid vapor by using insulating nanoparticle thin film

著者名: 加納 伸也(産業技術総合研究所), 銘苅 春隆(産業技術総合研究所)

キーワード: 化学センサ|液体蒸気|ナノ粒子|インピーダンス|構造異性体|chemical sensor|liquid vapor|nanoparticle|impedance|structural isomer

要約(日本語): 半導体式・電気化学式・熱伝導式など、多様な計測原理を用いた電子式化学センサが提案されている。近年、0次元、1次元、2次元ナノ構造を有した感応膜を使うことで、電子式化学センサの高感度・高応答性・室温安定動作化が、期待されている。我々はこれまでに、絶縁性のナノ粒子積層膜中に存在する粒子間空隙を利用し、気中の湿度や蒸気が高速にセンシングできることを見出してきた。本報告ではその取り組みの概要を説明する。

要約(英語): This paper addresses electrical analysis of chemical vapor by using an insulator nanoparticle thin film. The nanoparticle film works as a capillary absorber of the chemical vapor in air and the capillary condensed chemical liquid is electrically measured directly. The response is changed due to the vapor pressure and conductivity of the isomers. We expect the proposed method can be used to detect polar chemical vapors for on-site chemical analysis.

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