多種類ガス分布の高速・高精度推定のためのAu/Ag LSPRセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-37

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Development of Au/Ag LSPR sensors for high-speed and high-precision estimation of various gas distributions.

著者名: 熊副 慎悟(九州大学), 松岡 真聖(九州大学), 佐々 文洋(九州大学), 林 健司(九州大学)

キーワード: プラズモニックガスセンサ|ガス応答|匂いセンサ|金属ナノ粒子|光触媒|Plasmonic gas sensor|gas response|Odor Sensors|metal nanoparticles|photocatalyst

要約(日本語): 金属ナノ粒子(Au、Ag、TiO2)の調製法を開発し、基板上でのガス応答を研究しました。プロセス条件を変えることで、高次スペクトル情報に基づくガス応答の変化を観察し、異なる基板上で異なるガスを識別しました。また、チタン酸化物ナノ粒子の局在表面プラズモン共鳴(LSPR)現象への影響も調査しました。

要約(英語): We developed metal nanoparticles (Au, Ag, TiO2) preparation method, studied gas response on substrates, and explored TiO2 nanoparticles' impact on LSPR phenomenon.

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