UV光照射時のSnO2-TiO2ガスセンサの膜構造と感度特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-40

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Sensitivity and Thin Film Structures of SnO2-TiO2 Gas Sensor under UV Light Irradiation

著者名: 佐藤 健喬(千葉工業大学), 安藤 毅(千葉工業大学)

キーワード: ガスセンサ|光触媒|酸化スズ|酸化チタン|酸化物半導体|gas sensor|photocatalyst|SnO2|TiO2|metal oxide semiconductor

要約(日本語): 本研究ではヒータによる熱励起とUV照射による光励起がガスセンサの感度向上に有効と考え,これらが有効に働く膜の構造を明らかにすることを目的として実験を行った。センサ材料にSnO2とTiO2を用い,膜構造として積層膜と混合膜を提案し,UV照射有り無しのガス応答を比較した。SnO2/TiO2積層膜はUV照射有りのエタノール雰囲気下にてUV照射無しよりも高い感度を示した。SnO2-TiO2混合膜についてはセンサ材料の混合比を引き続き検討する。

要約(英語): In this study, we investigated that thin films structures of SnO2-TiO2 gas sensor under UV irradiation._x000D_ In the result, bilayer SnO2/TiO2 thin film responded significantly to ethanol under UV irradiation._x000D_ TiO2-doped SnO2 thin films are currently under consideration.

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