Si積層による光導波型SPR血糖値センサの高感度化の実験的考察～EB蒸着Si膜における感度の膜厚依存性～

カテゴリ: 部門大会

論文No: 8P2-PS-45

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Experimental Consideration of Increasing Sensitivity of Optical Guided-Wave SPR Blood Glucose Sensor by Si Stacking ～Thickness Dependence of Sensitivity in EB Deposited Si Films～

著者名: 野村 佳伸(東京工業高等専門学校), 新國 広幸(東京工業高等専門学校), 伊藤 浩(東京工業高等専門学校)

キーワード: 光導波型|SPRセンサ|感度の膜厚依存性|エバネッセント波|EB蒸着法|optical guided-wave|SPR sensor|dependence of sensitivity on film thickness|evanescent wave|EB deposition method

要約(日本語): 高屈折率な誘電体層を金属膜に積層することでセンサの感度向上が期待できる。本稿では、EB蒸着法で成膜したSi膜の厚さと感度の関係について明らかにする。結果、Siを積層することで感度が最大2倍に向上した。また、Si 4～10 nmでは感度は飽和状態になり、10 nmより厚くすると低下した。これらは、電場増強による感度向上効果と膜の剥離等の感度低減効果の大小関係が変化したからであると推察する。

要約(英語): In this study, the relationship between the sensor sensitivity and thickness of Si films deposited by EB evaporation is clarified. Experimental results showed that Si layering improved sensitivity by up to a factor of 2. It was also confirmed that the sensitivity saturated or decreased.

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