静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動
静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動
カテゴリ: 部門大会
論文No: 8P2-PS-9
グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2023/10/31
タイトル(英語): Synchronized oscillation of 1x2 electrostatic single crystal silicon torsional micromirror array
著者名: 大木 幹也(京都大学), バネルジー アミット(京都大学), 廣谷 潤(京都大学), 土屋 智由(京都大学),
キーワード: MEMSミラー|アレイ|同期|ねじれ共振器|静電櫛歯アクチュエータ|Scanning micromirror|Array|Synchronization|Torsional resonator|Electrostatic comb actuator
要約(日本語): 本研究では,細線ねじれ梁を有する小型MEMSミラーをアレイ化し、同期振動させることで大反射面積・高周波振動・大振れ角なMEMSミラーの実現を目標としている.本稿では静電ばね効果による共振周波数調節と,駆動電圧の振幅と位相の制御によるミラーアレイ同期手法を提案し,作製した1×2 配列のミラーアレイを用いて実証した.
要約(英語): This study aims to realize a MEMS mirror with high speed, large scan angle, and large aperture by arraying mirrors and synchronizing their oscillation. We propose methods of adjusting resonance frequency by electrostatic spring effect and synchronizing mirror arrays by controlling the amplitude and phase of driving voltage, and demonstrate them with 1 × 2 array.
PDFファイルサイズ: 950 Kバイト
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