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Pd系金属ガラスメンブレンによる高破壊靭性MEMSマイクロフォンの開発

Pd系金属ガラスメンブレンによる高破壊靭性MEMSマイクロフォンの開発

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25A4-B-2

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of High Fracture Toughness MEMS Microphone using Pd-based Metallic Glass Membrane

著者名: 池上 尚克(日清紡マイクロデバイス), 白石 健太郎(日清紡マイクロデバイス), 高橋 宏(日清紡マイクロデバイス), 臼井 孝英(日清紡マイクロデバイス), 久保田 瑶(日清紡マイクロデバイス), 柏木 一郎(日清紡マイクロデバイス)

キーワード: Pd系金属ガラス|静電容量型MEMSマイクロフォン|破壊靭性|エアーブロー耐性|LFRO

要約(日本語): 従来のポリSi薄膜メンブレンで課題となっていた亀裂進展破壊に対する抵抗力(破壊靭性)に対して、非晶質個体構造のPdCuSi金属ガラス薄膜メンブレンによる静電容量型MEMSマイクロフォンを新たに開発し、高破壊靭性及び、低周波域ロールオフ (LFRO)、高SNR特性を実証した。エアーバースト耐性はシステム上の測定限界0.97MPa以上で従来ポリSiメンブレンの2倍以上、LFROは10Hz以下、SNRは69dBVと優れた特性結果が得られた。

PDFファイルサイズ: 1,503 Kバイト

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