四象限バイモルフ切り紙薄膜を用いた多自由度・大変位熱駆動MEMSアクチュエータの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25A4-C-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of a multi-DoF, large-displacement electrothermal MEMS actuator using four-quadrant bimorph kirigami film

著者名: 橋本 将明(慶應義塾大学), 筒井 友哉(慶應義塾大学), 松岳 勇樹(慶應義塾大学), 田口 良広(慶應義塾大学)

キーワード: バイモルフ|熱駆動MEMSアクチュエータ|切り紙|大変位|多自由度

要約(日本語): 電気‐熱的に四象限に分割されたバイモルフ切り紙薄膜構造を提案し,多自由度駆動,大変位,低消費電力を両立した熱駆動MEMSアクチュエータを設計した。作製されたアクチュエータは,ピストン駆動モードでは87 mWで880 μm垂直方向に機械変位し,チップチルト駆動モードでは44mWで7.3度角度変位した。これらの結果から,熱駆動MEMSアクチュエータ設計における四象限バイモルフ切り紙薄膜構造の有用性が示された。

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