マイクロパターン化した自己組織化エレクトレットの表面電位と膜厚の関係の実測評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25A4-C-2

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Experimental Evaluation of the Relationship between Surface Potential and Film Thickness of Micro-Patterned Self-Assembled Electrets

著者名: 李 睿宸(立命館大学), 細井 覚(立命館大学), 角野 響一(立命館大学), 砂川 優一朗(立命館大学), 神宮 彩人(群馬大学), 小池 遼(群馬大学), 田中 有弥(群馬大学), 山根 大輔(立命館大学)

キーワード: MEMS|振動エナジーハーベスタ|自己組織化エレクトレット|エレクレット|表面電位

要約(日本語): 本研究では、マイクロパターン化自己組織化エレクトレット (SAE) の表面電位と膜厚の関係を初めて実験的に評価し,SAE平坦膜と同じく,平均膜厚と表面電位が比例関係の傾向になることを確認した。

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