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CMOSマルチケミカルイメージセンサの空間分解能向上のための感応膜形成プロセスの提案と実証

CMOSマルチケミカルイメージセンサの空間分解能向上のための感応膜形成プロセスの提案と実証

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カテゴリ: 部門大会

論文No: 25A4-D-1

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Proposal and demonstration of ion-sensitive membrane formation process for high spatial resolution of multichemical image sensors

著者名: 土井 英生(豊橋技術科学大学), 大塚 惇平(豊橋技術科学大学), 堀尾 智子(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

キーワード: マルチイオンイメージング|乳酸|水素イオン|窒化チタン|電位検出型CMOSアレイセンサ

要約(日本語): 化学物質の高分解能イメージングに向け、窒化チタンを堆積した電位検出型CMOSアレイセンサの画素ごとに乳酸検出領域として機能する金電極を形成する感応膜プロセスを開発した。半導体リソグラフィで画素サイズより小さい金電極を各画素にパターン形成することに成功し、良好な出力感度と選択性を示した(酸化還元応答:50.2 mV/dec、pH応答:62.6 mV/pH)。酸化還元とpH分布の同時可視化に成功し、センサの空間分解能向上を実証した。

PDFファイルサイズ: 679 Kバイト

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